Lille PVD belægningsmaskine

Det grundlæggende procesflow for fordampningsbelægning er:

Forberedelse før plettering → støvsugning → ionbombardement → bagning → forsmeltning → fordampning → pick-up → filmoverfladebehandling → færdigt produkt

1. Forberedelse før plettering

Processen omfatter rensning af pletteringsdele, produktion og rensning af fordampningskilde, rensning af pletteringsarmaturer i vakuumkammer, montering af fordampningskilde, montering af pletteringsdele mv.

(1) Rengøring og håndtering af pletterede dele:

Størrelsen af ​​bindingskraften mellem filmlaget og overfladen af ​​den belagte del er en vigtig indikator for produktkvalitet. Det er bestemt af mange faktorer, og overfladebehandlingen før belægning er en af ​​de mest basale faktorer. Hvis der er fedt, adsorberet vand, støv osv. på overfladen af ​​den belagte del, vil det reducere filmens bindekraft og påvirke overfladens ruhed.

Kemisk affedtning. Forskellige metal- og ikke-metalbelagte dele bør anvende den tilsvarende affedtnings- og affedtningsproces. For specifikke metoder kan du søge efter affedtning i den tekniske kolonne på denne hjemmeside for at se relaterede artikler.

Elektrostatisk præcipitator. De belagte dele oplades let med statisk elektricitet under støbeprocessen, hvilket kan forårsage huller i filmlaget eller reducere filmens bindekraft, så den statiske elektricitet skal fjernes, før primeren påføres.

Primer. Generelt er tykkelsen af ​​filmen på bunden af ​​fordampningen {{0}}.05~0,1 um, mens overfladeujævnheden af ​​almindelige pletteringsdele er 0,5 um, og tykkelsen af film er langt fra nok til at fylde hullerne. For at reducere overfladens ruhed påføres generelt en speciel primer på 7 ~ 10um på overfladen af ​​de belagte dele for at eliminere gruber og opnå effekten af ​​at udjævne overfladen.

(2) Produktion af fordampningskilde:

I henhold til brugskravene til produktet og materialet i de belagte dele er valg af et passende fordampningsmateriale den grundlæggende betingelse for at opnå en film af høj kvalitet.

De grundlæggende principper for valg af metalfilmmaterialer er: god termisk stabilitet og kemisk stabilitet, høj mekanisk styrke, lav indre belastning og en vis sejhed, god binding med primer, høj reflektivitet og udgasning i vakuum. Lille; brede materialekilder, lave priser og tilsvarende fordampningskilder.

Forskellige fordampningsmaterialer skal vælge den tilsvarende fordampningskilde og fordampningspletteringsmetode.

(3) Rengøring af vakuumkammer og pletteringsarmatur:

Hvis vakuumkammeret med det indvendige dæksel er forurenet, kan dækslet tages af for rengøring eller fornyelse. Hvis der ikke er noget indvendigt dæksel, kan det tørres af med calciumcarbonat, derefter tørres af med vand og til sidst tørres af med vandfri ethanol.

Almindelig brugte aluminiumsarmaturer kan lægges i blød i 20 procent NaOH-opløsning, indtil overfladen er brun, derefter skylles med rindende vand, lægges i blød i HNO3, indtil det brune forsvinder, og derefter vaskes og tørres.

(4) Installer fordampningskilden:

Vær forsigtig med at bære affedtningshandsker, og værktøj skal affedtes på forhånd. Vær særlig opmærksom på den gode kontakt mellem fordampningskilden og elektroden.

(5) Placer de belagte dele:

Det skal placeres på jorden af ​​de belagte dele og de belagte dele stabilt og fast for at forhindre, at de belagte dele bliver slynget væk fra armaturet på grund af rotation af armaturet under fordampning. Bær affedtningshandsker, tal ikke, og hold den belagte delbeslag ren.

2. Vakuumtrin

Åbn kølevandsventilen, juster til det nødvendige vandtryk, tilslut hovedstrømforsyningen, luk den atmosfæriske ventil, der fører til vakuumkammeret, luk rørledningsventilen, start den mekaniske pumpestrømforsyning, og åbn præ-vakuumventilen. På dette tidspunkt evakuerer den mekaniske pumpe vakuumkammeret, derefter ledningsbombardement, tænder for diffusionspumpens varmeeffekt og lukker præ-vakuumventilen. Når diffusionspumpen når arbejdskravene, skal du lukke vakuumventilen, åbne rørledningsventilen og åbne højvakuumventilen. , Diffusionspumpe, mekanisk pumpe til at pumpe vakuumkammeret, når vakuumet når en vis værdi, bages, forsmeltes og fordampes.

3. Ionbombardement

Under glødeudladningen bombarderer ionerne elektronerne for at opnå en høj hastighed, og de belagte dele oplades hurtigt negativt på grund af elektronernes store mobilitet. Der er energiudveksling på overfladen, og der sker en kemisk reaktion mellem pletteringsstykkets adsorptionslag og den aktive gas for at opnå effekten af ​​at rense overfladen.

Betingelserne for ionbombardement er, at det resterende gastryk er stabilt ved 0.13~13Pa, spændingen er 1,5~10kV, og tiden er 5~60min.

4. Bagning

Det kan fremskynde den hurtige udslip af gas, der er adsorberet af den pletterede del eller armaturet, hvilket er fordelagtigt for at forbedre vakuumgraden og bindingskraften af ​​filmlaget. Ved bagning skal det bemærkes, at bagetemperaturen for ikke-metalliske dele skal være 20~30 grader lavere end den termiske deformationstemperatur for den belagte del. Metalbagningen overstiger generelt ikke 200 grader.

5. Forsmeltning

Det kan fjerne urenheder med lavt smeltepunkt i fordampningsmaterialet og gassen, der er adsorberet i fordampningskilden og fordampningsmaterialet, hvilket er befordrende for et jævnt forløb af fordampningen. Stoffet skal forsmeltes gentagne gange, og det generelle krav er, at når fordampningsmaterialet opvarmes til fordampningstemperaturen, falder vakuumgraden ikke.

6. Fordampning

Fordampningsteknologi har stor indflydelse på kvaliteten af ​​belægningen, og stiller forskellige krav til generelle metaller, specialmetaller og forbindelser. Nogle metaller skal for eksempel fordampes hurtigt, mens andre ikke er egnede. Opvarmningsmetoden og formen på fordampningskilden skal også være. Det afhænger af fordampningsmaterialet.

Longkou Bit har specialiseret sig i produktion af PVD-vakuumbelægningsudstyr og giver kunderne salg af PVD-udstyr, salg af vakuumtilbehør og forbrugsstoffer, vedligeholdelse og reparation, teknisk rådgivning, nøglefærdige og andre tjenester. PVD-udstyr omfatter hovedsageligt: ​​multi-arc ion vakuumbelægningsudstyr, magnetronforstøvningsvakuumbelægningsudstyr, fordampningsserie vakuumbelægningsudstyr og andet sammensat vakuumbelægningsmonomer og kontinuerligt linjeudstyr, hovedsagelig brugt til metal og ikke-metal, plast, kompositmaterialer og andre overflader behandlingsprojekter, vakuumbelægningsudstyr anvendes til forskellige industrier, herunder hardware, forme, keramik, sanitetsartikler, ure, 3C, optik, kosmetik, biler, kommunikation og andre industrier.

Ansøgning

Parameter

Vores firma

Populære tags: lille pvd belægningsmaskine, Kina, leverandører, producenter, fabrik, tilpasset, køb, pris, tilbud