Vakuummetaliseringsudstyr

Er PVD-belægninger sikre?

Fysiske dampaflejringsprocesser er en miljøvenlig eller "pletterings"-teknik, der i høj grad reducerer mængden af ​​giftige stoffer, der skal bruges, håndtere og bortskaffes sammenlignet med andre "våde" processer, der involverer væskeprækursorer og kemiske reaktioner, der bruges til at opnå det samme resultat . Fordi det er i stand til at producere ekstremt rene, rene og holdbare belægninger, er Physical Vapor Deposition den foretrukne teknologi til den kirurgiske og medicinske implantatindustri.

Ved du, hvad en belægningsmaskine er? Det refererer hovedsageligt til en type belægning, der skal udføres under en høj grad af vakuum, herunder mange typer, herunder vakuumionfordampning, magnetronforstøvning, MBE molekylær stråleepitaksi, PLD laserforstøvningsafsætning og mange andre.

Vakuumsystemet omfatter en mekanisk pumpe, en kryogen pumpe, en skrubningsventil, en forlinjeventil, en skydeventil og en vakuummåler til vakuumdetektion. Under magnetronforstøvning bør påvirkningen af ​​nitrogen, oxygen og vanddamp på processen minimeres, så vakuumgraden skal være under 0.13 mPa ~ 4 Pa. Nu bruges der generelt tør pumpe og kryogen pumpe. Tørpumpen bruges til at pumpe lavvakuum. Sammenlignet med den originale mekaniske oliepumpe kan den forhindre olien og gassen i oliepumpen i at komme ind i vakuumkammeret, forurene substratet og reducere vedhæftningen mellem filmen og substratet. Normalt, efter at tørpumpen er pumpet under 6,5 Pa, åbnes portventilen, og den kryogene pumpe bruges til at pumpe højvakuum. Den kryogene pumpe er karakteriseret ved høj pumpehastighed, især evnen til at fjerne vanddamp er meget stærk.

Sputtering-belægningssystemet består af jævnstrømsforsyning, målmateriale, kølevand, permanent magnet, substratopvarmningsenhed, baffel, afskærmningslag osv. Dette er kernedelen af ​​magnetronforstøvningsstationen. DC-strømforsyningen giver en negativ højspænding på 300-1 000 V og anvender den til målet, så målet er ved katoden, og substratet er ved anoden. Kølevand bruges til at afkøle målmaterialet for at forhindre måltemperaturen i at stige for hurtigt på grund af sputtering. Kølevandsrørledningen skal være lavet af isolerende materialer såsom plastrør, ikke metalrør. Underlagsopvarmningsanordningen kan fjerne urenheder såsom vanddamp på substratet, hvilket kan forbedre vedhæftningen mellem filmen og substratet. For nogle metaller kan en passende temperatur desuden forbedre filmens kvalitet.

Ansøgning

Parameter

Vores firma

Populære tags: vakuummetaliseringsudstyr, Kina, leverandører, producenter, fabrik, tilpasset, køb, pris, tilbud