Spin Coating maskine
Der er mange typer magnetronforstøvning, som kan opdeles i DC-magnetronforstøvning, radiofrekvensmagnetronforstøvning og mellemfrekvent magnetronforstøvning i henhold til den anvendte strømkilde.
Mellemfrekvensforstøvning er også en slags magnetronforstøvning.
Der er mange typer magnetronforstøvning, som kan opdeles i DC-magnetronforstøvning, radiofrekvensmagnetronforstøvning og mellemfrekvent magnetronforstøvning i henhold til den anvendte strømkilde. Strømforsyningen, der bruges til DC-magnetronforstøvning, er en DC-højspændingsstrømforsyning, normalt 300-1000 V, som er kendetegnet ved hurtig sputteringshastighed, lave omkostninger og billig vedligeholdelse i den senere periode. Dog kan kun metalmål sputteres. Hvis målet er en isolator, vil målet, efterhånden som sputteringen skrider frem, akkumulere en stor mængde ladning, hvilket resulterer i, at sputteringen ikke kan fortsætte. Derfor bruges DC-magnetronforstøvning normalt til metalmål. På grund af dets lave omkostninger og enkle struktur er det meget udbredt i industrien. Frekvensen af RF-strømforsyningen, der bruges til RF-magnetronforstøvning, er normalt 13,56 MHz, hvilket kan løse problemet med, at DC-magnetronforstøvning ikke kan sputtere isolerende mål. Karakteristikaene ved RF-magnetronsputtering er: både isolerende mål og metalmål kan sputteres, og vedhæftningen mellem filmen og substratet er stærk. Men på grund af den komplekse struktur og enhed, den høje pris på RF-strømforsyningen, de høje vedligeholdelsesomkostninger, strålingen til den menneskelige krop og behovet for et eksternt matchende netværk, er det ikke egnet til industriel produktion. Mellemfrekvensmagnetronforstøvning bruges ofte til reaktiv sputtering til fremstilling af metalsammensatte film. Ud over argon tilsættes en lille mængde reaktive gasser såsom nitrogen, oxygen osv. til hulrummet for at deponere molekylerne af disse reaktive gasser med atomerne i målmaterialet. på substratet for at danne en metalsammensat film. Da DC-magnetronforstøvning er meget udbredt i industrien, inkluderer magnetronforstøvningsbordet et vakuumsystem, et sputterbelægningssystem, en gas og et kontrolsystem.
Ansøgning
Parameter
Vores firma
Populære tags: spin coating maskine, Kina, leverandører, producenter, fabrik, tilpasset, køb, pris, tilbud
Send forespørgsel
