Designegenskaber af multi-chip sammenligning chip enhed af vakuum coating maskine

1) Fast cylinder 3 Designet af cylindrisk form, stor diameter, tykvægget struktur og periferisk symmetrisk fikseringsmetode kan sikre tilstrækkelig styrke og stivhed, og på samme tid kan det også forhindre højtemperaturforstøvningsslibemiddel i at forurene dets indre dele , for at sikre fleksibiliteten i drejeskivens rotation 15 .

2) Designet af det cirkulære lejesæde 2 sikrer tætning og vertikalitet af lejesædeinstallationen; øge diameteren af ​​akslen 1, øge installationsafstanden mellem de to lejer i lejesædet 2, forbedre dens egen styrke og stivhed, sikre stivheden af ​​akslen 1 og rotationsfleksibiliteten af ​​skiven 15 under rotationsprocessen er konsistente med positionens repeterbarhed.

3) Indlæsning af transponeringsmekanismen, ved at udvide diameteren af ​​støttepladen 16, øges det effektive areal af mekanismen i den plane retning, og en sammenlignende film med en stor diameter (Φ26,5 mm) kan installeres, hvilket er befordrende til justeringen af ​​den optiske vej og forbedrer kvaliteten af ​​den optiske film; Sammenligningsstykket 12 er lavet af et enkelt stykke glas som en sammenligningsstykke. Sammenligningsstykket anvender den rumlige tredimensionelle stablingsinstallationsmetode. Flere stykker glas stables og installeres i en opbevaringscylinder 13 til sammenligningsstykker, således at 50~100 stykker sammenligningsstykker kan placeres ad gangen, hvilket løser problemet med belægningsmaskinen. Belægning af flerlags præcisionsoptiske film sammenlignet med problemet, at det lille antal ark påvirker antallet af belægningslag og nøjagtigheden.

4) Samarbejdet mellem positioneringspladen 6 og den spaltetype optiske kobling 17 gennem den spaltetype optiske kobling, de tre ligeligt opdelte 120 graders slidser på positioneringspladen afføles, og rotationen af ​​motoren styres til at stoppe . Konsistensen af ​​rotationen og positioneringen af ​​aksen 1 vil med garanti blive gentaget, og urskiven 15 er drevet for at fuldføre den nøjagtige skivehandling.

5) Den roterende tætningsindføringsmekanisme indføres i Wilson-tætningsmekanismen 5, som ikke kun sikrer, at motoren 9 driver den fleksible rotation af akslen 1 gennem gearindgreb, men også sikrer tætningseffekten af ​​vakuumkammeret til uden for. Det optimerede design af multi-chip sammenligningsenheden i vakuumbelægningsmaskinen har følgende egenskaber: (1) Enkel struktur, høj styrke og god pålidelighed; (2) Antallet af sammenligningschips er stort, produktionseffektiviteten er forbedret, og ultra-multi-lags præcisionsoptik kan belægges (3) Diameteren af ​​den sammenlignende film er øget, præcisionen af ​​filmovervågningen er forbedret, krav til hardwaresystemet er reduceret, og systemet er let at realisere automatisk kontrol; (4) Vedligeholdelsesomkostningerne er lave.

Gennem det optimerede design af vakuumbelægningsmaskinens flerdelte sammenligningsanordning sikres fleksibiliteten af ​​rotationen af ​​sammenligningsstykkemekanismen og konsistensen af ​​gentagelser, og det lille effektive område af sammenligningsstykket, den ubelejlige justering af den optiske vej og signal-til-støj-forholdet for det optiske signal løses. Det løser også problemet med mindre belastning af sammenlignende ark, hvilket i høj grad kan forbedre kvaliteten af ​​den optiske film belagt af den eksisterende vakuumbelægningsmaskine, og den optiske film med mere end 30 lag kan belægges. Praksis har vist, at denne sammenlignende pladestruktur er nyttig og kan fremmes og implementeres i den moderne optiske vakuumbelægningsindustri.